淺層氣浮設備選(xuǎn)購(gòu)技巧
氣浮墊(平麵空氣靜壓軸承、止推空氣軸承(chéng))廣泛應用於高精度設備(bèi)中,比如集成電路生產設(shè)備、平麵顯示器生產設備、半導體生產設備、電(diàn)子生(shēng)產設備、太陽能電池生產設備、新型元器件生產(chǎn)設備、檢驗和測量設備以及高精度機床(chuáng)等。氣浮墊是靜壓氣浮導軌的重要組成部件,在工作過程中起承載和導向之(zhī)作用,它決定了氣(qì)浮設備(bèi)的精度和性能,因此在設計(jì)時氣浮墊的選擇是十(shí)分關鍵的。
1)承載能力。
足夠的承載能力(lì)可確保氣浮(fú)墊將係統“浮(fú)”起(qǐ)來(lái),這(zhè)是基本(běn)的要求。選擇時應注意比較不同廠商氣浮墊在同(tóng)樣條件下(氣隙、供(gòng)氣壓力)的承載能力;
2)剛度(static stiffness 和 tilt stiffness)。
足夠的剛度是保(bǎo)證氣浮係統在設計條件下穩(wěn)定工作的必(bì)要條(tiáo)件。選擇時一般考慮靜剛度(static stiffness ),但有些情況下也必須考慮傾側剛度(tilt stiffness),否則係統可能(néng)無法達到設計性能(néng)指標要求。
性能穩(wěn)定性。
有些(xiē)氣浮墊在使用的過程中性能指(zhǐ)標會發生較(jiào)大的變化,即(jí)便是使用(yòng)條件(jiàn)(溫度、角度、氣隙等)發生了很小的變化(huà);
氣浮設備選購技(jì)巧 氣浮的原理懸浮物表(biǎo)麵有親水和憎水之(zhī)分。 憎水性顆粒表麵容(róng)易附著氣泡, 因(yīn)而可用氣浮法。親水性顆粒用適當的化學藥(yào)品處理後可以轉為憎水性。
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